Источник: http://www.kampi.ru/scitech/base/nomer7/ziatdinov/ziatdinov.htm
Аспирант, Зиятдинов Рустем Раисович
К.т.н., старший преподаватель, Звездин Валерий Васильевич
Аспирант, Косинов Сергей Сабирджанович
К.т.н., доцент, Гумеров Азат Флорович

 

Измерение шероховатости поляризационным методом

Повышение требований к качеству выпускаемой продукции влечет за собой необходимость совершенствования средств и методов контроля. Одним из параметров, определяющих качество деталей машин, является шероховатость поверхности – важная эксплуатационная характеристика, от которой зависят коррозионная стойкость, износостойкость, коэффициент трения и ряд других механических характеристик.

На сегодняшний день существуют различные способы измерения шероховатости поверхности, однако предпочтение отдается оптико-физическим методам. Это объясняется тем, что они являются неконтактными, неразрушающими и легче поддаются автоматизации.

Несмотря на многообразие существующих методов измерения шероховатости, чаще всего, они применимы только в лабораторных условиях, где могут быть обеспечены определенные условия для процесса измерений. Тем не менее, часто возникает необходимость измерения шероховатости непосредственно на технологическом оборудовании как после обработки, так и непосредственно во время изготовления детали в реальном масштабе времени.

Сущность применяемых рефлектометрических методов измерения шероховатости поверхности заключается в измерении оптических характеристик отраженного излучения. При отражении излучения от границы раздела двух сред происходит его поляризация, которая зависит с одной стороны, от угла падения, с другой стороны – от оптических свойств граничащих сред.

Изменение поляризационных характеристик отраженного от изучаемой поверхности излучения несет информацию о параметрах поверхности. Отслеживая изменения поляризации отраженного излучения можно судить о шероховатости поверхности.

Можно наглядно изобразить поляризованное излучение, используя поляризационную картину – проекцию вектора напряженности электрического поля на плоскость, перпендикулярную плоскости визирования. В общем случае вектор напряженности электрического поля будет описывать поляризационный эллипс. Поляризационная структура поля плоской волны будет определена, если известны параметры, описываемые вектором Стокса /1/:

{ S0, S1, S2, S3} ,

где S0 – интенсивность поляризованной волны,

S1 – разность интенсивностей ортогональных линейно поляризованных компонент волны,

S2 – разность интенсивностей ортогональных линейно поляризованных компонент волны в линейном базисе, повернутом по отношению к исходному на угол 45° ,

S3 – разность интенсивностей циркульно поляризованных компонент, с противоположным направлением вращения.

Одной из важных поляризационных характеристик является степень поляризации излучения. Она связана с параметрами вектора Стокса следующим соотношением:

.

Сущность взаимодействия электромагнитной волны с шероховатой поверхностью заключается в следующем. При падении элементарного пучка на микроплощадку происходит его френелевское отражение. При этом в отраженном излучении колебания вектора напряженности имеют определенную ориентацию, т.е. отраженное излучение поляризуется. При падении под углом Брюстера отраженное излучение линейно поляризовано. При взаимодействии с шероховатой поверхностью, элементарные пучки отражаются от микрограней, имеющих разные размеры и различную ориентацию нормали. Вследствие этого пучки, отраженные от элементарных площадок, будут иметь различные поляризационные характеристики. Суммарный эллипс отраженного излучения характеризует шероховатость значительного участка поверхности.

В общем случае вектор напряженности электрического поля электромагнитной волны Е можно разложить на три взаимно ортогональные компоненты EX, EY и EZ. Для случая плоской ТЕ-волны (EZ = 0) колебание электрического вектора можно разложить на две независимые линейные гармонические колебания EX и EY вдоль двух взаимно перпендикулярных направлений (рис.1):

Рис.1

Картина распространения плоской электромагнитной волны

Для математического описания поляризованной волны удобно использовать вектор Джонса, который полностью описывает состояние поляризации любого светового пучка:

Обычно измерение степени поляризации производится по следующей схеме /2/. На исследуемую поверхность падает пучок света, а отраженное от поверхности излучение (прежде чем попасть на приемник) проходит через анализатор, пропускающий в одном положении излучение с колебаниями, параллельными плоскости падения, а в другом — перпендикулярными. Тогда степень поляризации света, отраженного в направлении Q определяется по формуле:

,

где J| | и J^ - интенсивности излучения с колебаниями параллельными и перпендикулярными плоскости падения соответственно;

Р – степень поляризации.

Этот способ применим при известном азимуте поляризации излучения. На практике чаще всего встречается ситуация, когда азимут неизвестен. Вследствие этого приходится либо вращать анализатор, либо закручивать излучение. Это приводит к снижению быстродействия, точности измерений и делает невозможным контроль шероховатости в реальном масштабе времени.

В работе /3/ предлагается способ измерения степени поляризации с неизвестной ориентацией вектора напряженности электрического поля с применением трехплощадочного фотоприемника. Применив данный способ можно получить устройство для измерения шероховатости, которое позволит контролировать качество поверхности как непосредственно во время обработки детали, так и после ее окончания.

Обозначим через А, В и С модули векторов напряженности под углами 0° , 90° и 45° соответственно.

Рис.2

Эллипс, описываемый вектором напряженности электрического поля

Степень поляризации определяется по формуле:

, (1)

где a и b – большая и малая полуось эллипса соответственно.

Записав уравнение эллипса для точек А, В и С получим систему из трех уравнений. Решив ее с учетом формулы 1 получим:

Так как интенсивность волны пропорциональна квадрату напряженности электромагнитного поля, обозначим:

С учетом этого окончательная формула примет вид:

Структурная схема устройства изображена на рис.3. На рисунке обозначены: 1 – источник излучения; 2 – контролируемая поверхность; 3 – три поляризатора, плоскости поляризации которых ориентированы через 45° друг относительно друга; 4 – трехплощадочный фотоприемник; 5 – блок электронной обработки.

Рис.3.

Структурная схема устройства

В качестве источника света используется лазерный диод. Его использование обусловлено, с одной стороны, спецификой лазерного излучения, такими как высокая когерентность, монохроматичность и т.д., с другой стороны, появлением недорогих полупроводников источников лазерного излучения.

Блок электронной обработки включает схемы выборки и хранения, аналоговый коммутатор, аналогово-цифровой преобразователь, микропроцессорную систему, интерфейс вывода информации. В качестве последнего может применяться как блок цифровой индикации, так и устройство обратной связи с технологическим оборудованием.

Устройство работает следующим образом. Излучение от источника света отражается от контролируемой поверхности. При этом происходит изменение его степени поляризации, связанное с шероховатостью поверхности. Отраженный свет проходит через три поляризатора, в которых происходит поляризация излучения. Три пучка линейно-поляризованного излучения под углом 0, 45 и 90° подают на трехплощадочный фотоприемник. На нем электромагнитное излучение преобразуется в электрические сигналы. Напряжение с фотоприемников подается на блок электронной обработки, где происходит вычисление степени поляризации. По полученной степени поляризации отраженного излучения судят о шероховатости поверхности.

Автоматизация процессов измерения поляризационных характеристик в реальном масштабе времени позволяет повысить эффективность технологического процесса за счет достижения заданных показателей качества и сокращения времени на обработку.

Литература:

Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. – М.: Мир, 1981. 584с.

Звездин В.В., Алеев Р.М., Мухамедяров Р.Д. / А.С.№ 165033 приоритет от 15.12.80. Измеритель степени поляризации.

Зиятдинов Р.Р., Звездин В.В., Гумеров А.Ф., Сабиров И.С. Заявка на изобретение № 2000118517/28(019419), приоритет от 20 июля 2000г. Способ измерения степени поляризации электромагнитных волн.