УДК 621.921.34Ваксер Д.Б. Иванов В.А. Никитков Н.В.ОСОБЕННОСТИ АЛМАЗНОЙ ОБРАБОТКИ КЕРАМИКИ
Основным видом механической обработки керамики, обладающей высокой твердостью и хрупкостью, является алмазное шлифование, а при высоких требованиях к качеству поверхности — доводка алмазными пастами. Преимущество алмазного инструмента — его высокая твердость и острота зерен. Изготавливаемые на металлических корпусах алмазные круги позволяют технически проще осуществлять скоростное шлифование.
Рисунок 1 Микрофотография поверхности керамики: а—после предварительного шлифования; б — после чистового шлифования Шлифование как процесс взаимного разрушения и износа контактирующих поверхностей протекает в виде скалывания, истирания и вырывания частиц керамики, алмазных зерен связки. Шлифованная поверхность керамики (рис. 1) представляет собой сочетание микроскопических впадин и выступов (рис. 1, а), отдельных царапин-рисок, образующих на поверхности, сетку (1, б). 1) раскалывание зерен шлифуемой керамики под действием силы Ру. Доминирующее действие каждого из них зависит от геометрии алмазного зерна, физико-механических свойств материала, режимов шлифования. Подобное явление разрушения наблюдается при измерении микротвердости керамики. При больших нагрузках на алмазную пирамиду получаются отпечатки с трещинами и сколами краев, а при малых — они отсутствуют. Силовое, температурное воздействие испытывают и алмазные зерна кругов. Механизм износа алмазного зерна в процессе шлифования керамики наиболее полно может быть выявлен при резании и царапании единичным зерном. Процесс моделировался на специальной установке различными алмазными зернами, зачеканенными в оправку. Царапание керамики зерном производилось при нагрузке 60 г и скорости 42 м/с, после чего на биологическом микроскопе фиксировался его контур.
Рисунок 2 Износ единичного алмазного зерна при шлифовании керамики (× 200): а — зерно из природного алмаза, керамика титаносодержащая,σи=1ооо кгс/см2 б — зерно из синтетического алмаза, керамика глиноземистая, σи = 2000 кгс/см2
ТРЕБОВАНИЯ К КАЧЕСТВУ ИЗДЕЛИЙ ИЗ КЕРАМИКИ
Требования к точности изготовления изделий из керамики могут быть показаны на нескольких примерах (рис. 3). Подложки для интегральных тонкопленочных схем (рис. 3, б) и микроплаты для этажерочных модулей (рис. 3, в) представляют собой плоские детали, к которым предъявляются высокие требования по точности линейного размера (ГОСТ 10338—63) и плоскостности (ГОСТ 7713—62). Толщина должна находиться в пределах допуска (±0,01—0,05 мм), а неплоскостность после доводки не должна превышать 0,001 мм на длине подложки порядка 60 мм. Как правило, эти детали изготавливаются из корундовой керамики (22ХС, поликор, ультрафарфор). Так, детали из 22ХС по своей конфигурации могут быть в виде пластин размерами от 1×10 до 20×30 мм, дисков диаметрами в диапазоне 5—150 мм, колец—от 30 до 150 мм
Рисунок 3 Примеры керамических изделий: в — микроплатамикромодулей; г — основание резисторов МЛТ Установлено, что при зажигании от электрических разрядов размыкания взрывчатых углеводородовоздушных смесей алканового ряда, (при опасных концентрациях). Минимальные воспламеняющие токи обратно пропорциональны квадратным корням из удельных (или молекулярных) весов этих углеводородов (или их смесей) при неизменных значениях индуктивности цепи и напряжения источника тока.Требования к шероховатости обработанной поверхности и состоянию поверхностного слоя керамики изменяются в зависимости от стадии обработки. ЛИТЕРАТУРА 1. Ваксер Д.Б., Иванов В.А., Никитков В.Б. Алмазная обработка технической керамики. Л., Машиностроение, 1976, 160с. 2. Выдрик Г.А., Костюков Н.С. Физико-химические основы производства и эксплуатации электрокерамики. М., Энергия, 1971. 328 с. 3. Балкевич В.Л. Техническая керамика. М., Стройиздат, 1968. 230 с. 5. Болонова Е.В. Силовое и скоростное шлифование. - В кн.: Резание металлов. Станки и инструмент., М., НИИмаш, 1970, с.66-110. |