Публікація

магістранта Луньової Катерини Олександрівни
Фізико-металургійний факультет

на тему: "Вивчення технології виробництва "мішеней" із дисиліцидів вольфраму і молибдену"

Науковий керівник: доц.кафедри ФМ, к.т.н. Власенко М.М.

Аннотація

В сучасній техніці елементи мікросхем все частіше виготовляють з тугоплавких металів і для отримання якісних виробів необхідно проаналізувати технологію їх отримання. Це дозволить понизити економічні витрати, пов'язані з технологічними процесами, підвищити якість готових виробів. На прикладі дисилицид молібдену показана технологія отримання спеченого порошкового матеріалу, який надалі використовуватиметься для виготовлення мікросхем. Така технологія дозволяє отримати елементи мікросхем із заданими фізичними і експлуатаційними характеристиками.

Перелік посилань

1. Либенсон А.Г.Основы порошковой металлургии. М.: Металлургия, 1987, 208с.
2. Самсонов Г.В. Силициды и их использование в технике. К.: Наукова думка, 1959, 368 с.
3. Уманский А.М. Прессование порошковых материалов. М.:Металлургия, 1981, 393с.